就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵
發(fā)布時(shí)間: 2023-12-13 10:54
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵
真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動(dòng)運(yùn)行的，
密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險(xiǎn)。
極限壓力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)
最大入口壓力：1.0 個(gè)大氣壓(0 psig)
冷卻 方式：風(fēng)冷
泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)
尺寸 (高x寬x長(mm))：364x 333x 485
泄漏速度(密封排氣口時(shí))：< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵用途
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強(qiáng)光刻與襯底表面的粘附性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便
HMDS工藝：蒸汽氣相涂布
安全檢測：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測提示
儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
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