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BCB無(wú)氧烘箱，BCB固化烤箱

發(fā)布時(shí)間: 2025-09-23 11:41

商品信息

BCB無(wú)氧烘箱，BCB固化烤箱應(yīng)用背景

BCB作為一類高性能聚合物，以它特有的性質(zhì)，將會(huì)被越來(lái)越多地使用。BCB是具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、電絕緣性和機(jī)械強(qiáng)度的高性能材料。在現(xiàn)代高技術(shù)領(lǐng)域有非常重要的應(yīng)用。例如在微電子制造中，用作各類器件鈍化防護(hù)和層間介電等。

BCB無(wú)氧烘箱，BCB固化烤箱工藝要求

涂BCB后，聚合物膜層需被處理以確保對(duì)后序處理操作的抵抗性。

由BCB樹脂構(gòu)成的膜的處理需在無(wú)氧條件下(<100ppm)進(jìn)行。

1. 3-8分鐘上升到50℃ 恒溫5-15分鐘

2.15-20分鐘上升到100℃ 恒溫15-25分鐘

3.15-20分鐘上升到150℃ 恒溫15-25分鐘

4. 40-80分鐘上升到250℃ 恒溫45-65分鐘

5.冷卻

BCB無(wú)氧烘箱，BCB固化烤箱技術(shù)指標(biāo)：

工作室尺寸（mm）：350*350*350/450*450*450/600*600*600/可定制

真空度：≤133pa

溫度：TT+50～400℃