就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
-
氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無(wú)塵烤箱 無(wú)氧烤箱
新 聞 動(dòng) 態(tài)
NEWS
再破“卡脖子”難題——清華團(tuán)隊(duì)研發(fā)首臺(tái)12英寸超精密晶圓減薄機(jī)
來(lái)源:半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟
|
作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
|
發(fā)布時(shí)間: 2021-10-08
|
2029 次瀏覽
|
分享到:
據(jù)清華大學(xué)官方消息，近日，由清華大學(xué)機(jī)械系路新春教授帶領(lǐng)清華大學(xué)成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目公司華海清科研發(fā)的首臺(tái)12英寸(300mm)超精密晶圓減薄機(jī)，已經(jīng)正式出貨，發(fā)往國(guó)內(nèi)某集成電路龍頭企業(yè)！
據(jù)清華大學(xué)官方消息，近日，由清華大學(xué)機(jī)械系路新春教授帶領(lǐng)清華大學(xué)成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目公司華海清科研發(fā)的首臺(tái)12英寸(300mm)超精密晶圓減薄機(jī)，已經(jīng)正式出貨，發(fā)往國(guó)內(nèi)某集成電路龍頭企業(yè)！
這是路新春教授團(tuán)隊(duì)與華海清科解決我國(guó)集成電路拋光裝備“卡脖子”問題之后，又一突破性成果，將應(yīng)用于3D IC制造、先進(jìn)封裝等芯片制造大生產(chǎn)線，滿足12英寸晶圓超精密減薄工藝需求。
12英寸超精密晶圓減薄機(jī)是集成電路制造不可或缺的關(guān)鍵裝備，復(fù)雜程度高，技術(shù)攻關(guān)難度大，市場(chǎng)準(zhǔn)入門檻高，長(zhǎng)期被國(guó)外廠商高度壟斷，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)嚴(yán)重依賴進(jìn)口。
為了突破減薄裝備領(lǐng)域的技術(shù)瓶頸，路新春教授帶領(lǐng)華海清科，利用在化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，集中力量開展超精密減薄理論與技術(shù)研究，攻克晶圓背面超精密磨削、平整度智能控制、表面損傷及缺陷控制系列核心技術(shù)，研制出首臺(tái)用于12英寸3D IC制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域晶圓超精密減薄機(jī)，解決該領(lǐng)域“卡脖子”問題。
路新春教授團(tuán)隊(duì)自2000年起開展化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）基礎(chǔ)研究，承擔(dān)國(guó)家重大科技攻關(guān)任務(wù)十余項(xiàng)，成功孵化華海清科，并研制出我國(guó)第一臺(tái)12英寸“干進(jìn)干出”CMP裝備及系列產(chǎn)品，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，實(shí)現(xiàn)28nm工藝量產(chǎn)，并具備14-7nm工藝拓展能力，創(chuàng)造了多項(xiàng)國(guó)產(chǎn)裝備紀(jì)錄。
該設(shè)備累計(jì)110余臺(tái)應(yīng)用于先進(jìn)集成電路制造大生產(chǎn)線，市占率、進(jìn)口替代率均位居國(guó)產(chǎn)IC裝備前列。
系列成果填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，打破了國(guó)際巨頭壟斷，首次實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)拋光裝備的批量產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
MUNE
>網(wǎng)站首頁(yè) >公司簡(jiǎn)介 >產(chǎn)品中心 >新聞動(dòng)態(tài)
>幫助文檔 >在線留言 >聯(lián)系我們
上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司 ? 版權(quán)所有 滬ICP備16022591號(hào)-3
Copyright ? 2012-2018 junsicn.com All Rights Reserved.
技術(shù)支持：上海雋思儀器
CONTACT US
tel：18016234441
EMALL：junsish@163.com
