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細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的？
來源:
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作者:雋思環(huán)境半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時間: 2023-11-09
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HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。
HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一種有機(jī)物，在水中的溶解性很低，但它可與多種有機(jī)溶劑混溶，比如醇、醚和多數(shù)非極性溶劑。溶劑清洗：可以使用有機(jī)溶劑溶劑（如異丙醇）來清洗晶圓，以去除多余的HMDS。
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便
HMDS工藝：蒸汽氣相涂布
安全檢測：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
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